| Abschlussbericht zum Projektende des MEF "Kostengünstige Herstellverfahren für Mikrosiebe": Bericht MAO1-BB-0707-E01 (2008) | |||||||||||||
Abstract | |||||||||||||
| "Die Fraunhofer-Institute Umwelt-, Sicherheits- und Energietechnik (UMSICHT) und Solare Energiesysteme (ISE) erarbeiteten im Rahmen eines mittelstandsorientierten Eigenforschungsprojektes "Kostengünstige Herstellverfahren für Mikrosiebe". Basierend auf interferenzlithographischer Belichtung mit anschließender Weiterbearbeitung wurden mittels galvanischer Verfahren gemäß Leistungsversprechen Mikrosiebe mit Porendurchmessern zwischen 1 - 5 My-m hergestellt. Die prinzipielle Tauglichkeit der Verfahren zur großflächigen Herstellung von Mikrosieben im "Roll-to-Roll"-Prozess konnte ebenfalls nachgewiesen werden. Die derart hergestellten Mikrosiebe wiesen sowohl eine Variation der Porengröße als auch eine Dickenvariation von weniger als ±30% auf, womit diese Leistungsversprechen vollständig erfüllt werden konnten. Lediglich die Haltbarkeit der Mikrosiebe bereitete aufgrund ihrer noch zu geringen Dicke Schwierigkeiten, so dass aufgrund dieser Labilität das letzte Leistungsversprechen hoher Permeatleistungen zurückhaltend bewertet wird. Leistungsversprechen: Metallische Mikrosiebe mit regelmäßig angeordneten Poren mit Porendurchmessern zwischen 1 - 5 My-m werden in Formaten der Mindestgröße 100x100mm2 hergestellt. -- Bewertung: größer oder gleich 95 %. Leistungsversprechen: Das Verfahren zur Herstellung des Mikrosiebs ist prinzipiell tauglich für die großflächige Herstellung von Mikrosieben im "Roll-to-Roll"-Prozess. -- Bewertung: größer oder gleich 95 %. Leistungsversprechen: Variation der Porengröße und der Dickenverteilung eines Mikrosiebes beträgt weniger als ±30% -- Bewertung: 100 %. Leistungsversprechen: Die Permeatleistung bei der Filtration von Wasser beträgt mindestens 5000 l/qm h -- Bewertung: 70 %". | |||||||||||||
Publication details | |||||||||||||
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