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6716490
Encapsulated micromachined resonant force sensor /--Martin Haueis. (2001)
Haueis, Martin.
,
Verein Deutscher Ingenieure.
,
Eidgenossische Technische Hochschule Zurich.
Abstract
Thesis--ETH Zurich, [2001].
Publication details
Publisher
Dusseldorf :VDI Verlag,
Repository
OCLC's Experimental Thesis Catalog (United States)
Language
summary in german.