J. Göttert

Nanoprägen in Polymerfolien als Fertigungsverfahren für fluidische Mikro-Nano-Systeme. (2009)

Schleunitz, A., Senn, T., Datta, P., Göttert, J., Giselbrecht, S., Reinhardt, M., ...

Mikrosystemtechnik-Kongress 2009, Berlin, 12.-14.Oktober 2009

Crossed planar X-ray lenses of Ni for micro focusing and imaging. (2007)

Nazmov, V., Reznikova, E., Last, A., Saile, V., DiMichiel, M., Göttert, J.

14th Nat.Conf.on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2007), Baton Rouge, La., April 25-27, 2007

Crossed planar X-ray lenses made from nickel for X-ray micro focusing and imaging applications. (2007)

Nazmov, V., Reznikova, E., Last, A., Mohr, J., Saile, V., DiMichiel, M., ...

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 582(2007) S.120-22

Keramische Mikrostrukturen durch Röntgentiefenlithographie. (2004)

Schulz, M., Börner, M., Göttert, J., Hanemann, T., Heldele, R., Motz, G., ...

5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) S.179-80 (Poster)

Cross linking behavior of preceramic polymers effected by UV- and synchrotron radiation. (2004)

Schulz, M., Börner, M., Göttert, J., Hanemann, T., Hausselt, J., Motz, G.

Advanced Engineering Materials, 6(2004) S.676-80

Vernetzungsverhalten von präkeramischen Polymeren unter Einfluss von UV- und Synchrotronstrahlung. (2003)

Schulz, M., Börner, M., Göttert, J., Hanemann, T., Hausselt, J., Motz, G.

8.Arbeitskreis Polymerkeramik, Darmstadt, 15.Juli 2003

Lithographie an präkeramischen Polymeren. (2003)

Hanemann, T., Börner, M., Göttert, J., Heldele, R., Motz, G., Schulz, M., ...

Materials Week, München, September 16-18, 2003

Preceramic polymers in UV- and X-ray lithography. (2002)

Schulz, M., Hanemann, T., Hausselt, J.H., Börner, M., Göttert, J., Motz, G.

Junior Euromat 2002, Lausanne, CH, September 2-5, 2002

New resist materials for deep X-ray lithography. (2002)

Schulz, M., Börner, M., Göttert, J., Hanemann, T., Hausselt, J., Motz, G.

ANKA User Meeting, Karlsruhe, 16.-17.September 2002

Fabrication of HARM structures by deep-X-ray lithography using graphite mask technology. (2000)

Coane, P., Giasolli, R., Ledger, S., Lian, K., Ling, Z., Göttert, J.

Microsystem Technologies, 6(2000) S.94-98

ANKA - a synchrotron light source for X-ray based micromachining. (2000)

Göttert, J., Moser, H.O., Pantenburg, F.J., Saile, V., Steininger, R.

Microsystem Technologies, 6(2000) S.113-16

High aspect ratio processing. (1998)

Friedrich, C.R., Warrington, R., Bacher, W., Bauer, W., Coane, P.J., Göttert, J., ...

Rai-Choudhury, P. [Hrsg.]

Synchrotronstrahlungsquelle ANKA - fortgeschrittene Röntgenbestrahlungstechnik für die Mikrofertigung. (1998)

Göttert, J., Moser, H.O.

3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998

Micro-optical and opto-mechanical systems fabricated by the LIGA technique. (1997)

Mohr, J., Göttert, J., Müller, A., Ruther, P., Wengeling, K.

Motamedi, M.E. [Hrsg.]

Fabrication of PMMA based microlenses using the LIGA-process. (1997)

Ossmann, C., Göttert, J., Ilie, M., Mohr, J., Ruther, P.

Microlens Arrays : Proc.of a Conf., Teddington, GB, May 15-16, 1997

Auslegung und Herstellung von Kunststoff-Mikrolinsen und Mikrolinsensystemen für flexible Endoskopie in der Neurochirurgie. (1997)

Fischer, M., Göttert, J., Guber, A.E., Köhler, U., Mohr, J., Oertmann, F.W., ...

Mikrosystemtechnik zum Einsatz in der minimalinvasiven neurochirurgischen Operationstechnik (MINOP).

Fabrication and characterization of microlenses realized by a modified LIGA process. (1997)

Ruther, P., Gerlach, B., Göttert, J., Ilie, M., Mohr, J., Müller, A., ...

Pure and Applied Optics, 6(1997) S.643-53

Verification of the micromechanical characteristics of electrostatic linear actuators. (1996)

Kohl, M., Göttert, J., Mohr, J.

8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995

Fabrication of microoptical components and systems by the LIGA-technique. (1996)

Göttert, J., Mohr, J., Müller, A., Müller, C.

Procedes et Modeles pour la Micro-Optique Passive, Metz, F, 11-12 Avril, 1995

Fabrication of stepped microoptical benches for fibre and free space applications. (1996)

Müller, A., Göttert, J., Mohr, J., Rogner, A.

High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995

Micro-optical components and systems fabricated by the LIGA technique. (1996)

Mohr, J., Göttert, J., Müller, A., Müller, C.

Free-Space Micro-Optical Systems, Engelberg, CH, April 1-3, 1996

Aufbau hybrider mikrooptischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren. (1996)

Müller, A., Göttert, J., Mohr, J.

Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5786 (Mai 96)

Microoptical devices based on free space optics with LIGA microoptical benches. Examples and perspectives. (1996)

Mohr, J., Göttert, J., Müller, A.

Parriaux, O.M. [Hrsg.]

Embossed microoptical components. (1996)

Dumbravescu, N., Göttert, J., Ilie, M., Moldovan, N., Mohr, J., Müller, A.

HCM-Workshop, Inst.f.Mikromechanik, Mainz, 20.Juni 1996 (Poster)

Integration of III/V-devices on polymer micro optical benchens with single mode waveguides. (1996)

Göttert, J., Marth, M., Mohr, J., Patterson, B., Söchtig, J.

CLEO/QELS Conf.on Lasers Optics/Quantum Electronics and Laser Science Conf., Anaheim, Calif., June 2-7, 1996 (Poster)

A modular fabrication concept for photonic devices using the LIGA process. (1996)

Gengenbach, U., Göttert, J., Kohl, M., Marth, M., Mohr, J., Müller, A.

Reichl, H. [Hrsg.]

High-aperture surface relief microlenses fabricated by X-ray lithography and melting. (1995)

Göttert, J., Fischer, M., Müller, A.

Microlens Arrays, Teddington, GB, May 11-12, 1995

Microspectrometersystem based on integrated optic components in polymers as spectral detection system for the VIS- and NIR range. (1995)

Müller, C., Fromhein, O., Göttert, J., Kühner, T., Mohr, J.

Shi, L. [Hrsg.]

Mikrooptische Bypass-Schaltung für die Kommunikationstechnik. (1995)

Mohr, J., Göttert, J., Kohl, M., Müller, A.

Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe, 27(1995) S.40-46

Hybrid optical transceiver module with a micro optical LIGA-bench. (1995)

Müller, A., Hehmann, J., Rogner, A., Göttert, J., Mohr, J.

European Conf.on Optical Communication (ECOC '95), Bruxelles, B, September 17-21, 1995

The LIGA-process and mechanical micro fabrication: two process techniques to fabricate micro structures with implications in micro mechanics, micro optics and micro fluidics. (1995)

Mohr, J., Göttert, J.

Seminaire de l' Ecole Doctoral Promen, Nancy, 22-23 Mai, 1995

Production of microcomponents for neuroendoscopy. (1995)

Guber, A., Göttert, J.

3.Statusseminar MINOP, Pecs, H, 15.September 1995

Ein System zur automatischen Montage von Mikrosystemen. (1995)

Gengenbach, U., Göttert, J., Engelhardt, F., Scharnowell, R.

2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995

LIGA-Mikrolinsen und ihre Anwendung in der Medizin- und Informationstechnik. (1995)

Göttert, J., Fischer, M., Müller, A.

2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995

Mikrooptische Funktionsmodule auf der Basis von LIGA-Technik sowie Aufbau- und Verbindungstechnik. Konzepte, Potential und Anwendungen in der Informationstechnik. (1995)

Mohr, J., Göttert, J., Müller, A., Müller, C.

2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995

Optomechanische Bypass-Schaltung für die optische Informationstechnik. (1995)

Müller, A., Göttert, J., Kohl, M., Mohr, J., Müller-Fiedler, R.

2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995

Bidirektionales Sende-/Empfangsmodul für die optische Datenübertragung. (1995)

Müller, A., Hehmann, J., Rogner, A., Göttert, J., Mohr, J.

2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 (Poster)

Passive Ankopplung aktiver optischer Devices an monomodige Polymerwellenleiter. (1995)

Marth, M., Göttert, J., Mohr, J., Söchtig, J.

2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 (Poster)

Variationen des LIGA-Prozesses zur Herstellung nachrichtentechnischer Komponenten am Beispiel einer Bypass-Schaltung. (1995)

Müller, A., Göttert, J., Kohl, M., Mohr, J.

Abschlußseminar BMBF-Verbundprojekt AVT-KEO, Bonn, 30.November - 1.Dezember 1995

New developments in LIGA-components and microsystems with the aim of industrial application. (1995)

Mohr, J., Göttert, J., Müller, C., Schomburg, W.K., Schulz, J.

HCM-Meeting, Lisboa, P, 20.November 1995

Application of three-dimensional micro-optical components formed by lithography, electroforming, and plastic molding. (1994)

Brenner, K.H., Kufner, M., Kufner, S., Moisel, J., Müller, A., Sinzinger, S., ...

Applied Optics, 32(1993) S.6464-69

Anwendungen des LIGA-Verfahrens auf dem Gebiet der Mikrooptik und der integrierten Optik. (1994)

Göttert, J., Mohr, J., Müller, A., Müller, C.

Vortr.: Fa.ASCOM TeCH AG, Bern, CH, 20.Juli 1994

Anwendung des LIGA-Verfahrens in der Mikrooptik und der Integrierten Optik. (1994)

Göttert, J., Mohr, J., Müller, A., Müller, C.

Vortr.: Universität Jena, 5.Juli 1994

Components and applications of the LIGA process in microoptics. (1994)

Mohr, J., Menz, W., Göttert, J., Müller, A., Müller, C.

1st Binational German-Israel Symp.on Optical Signal and Image Processing, Jerusalem, IL, June 21-22, 1994

Mikrostrukturierung mit Röntgentiefenlithographie zur Herstellung von mikrooptischen Komponenten. (1994)

Göttert, J., Menz, W., Mohr, J., Müller, A., Müller, C.

4.Berliner Optiktage, 20.-21.September 1994

Beispiele für Anwendungen der Mikrosystemtechnik in der Optik. (1994)

Göttert, J., Mohr, J.

IHK-Technologiekongreß Sensortechnik und Mikrosystemtechnik, Villingen-Schwenningen, 6.Oktober 1994

Verwendung eines Gießharzes und Verfahren zu dessen Herstellung. (1994)

El-Kholi, A., Göttert, J., Mohr, J., Krieg, M.

Requirements and first results of an assembly and handling apparatus for automated fabrication of microsystems. (1994)

Gengenbach, U., Göttert, J.

Seminar on Handling and Assembly of Microparts, Wien, A, November 14, 1994

Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik. (1994)

Göttert, J., Müller, C.

Workshop Integrierte Optik, Dortmund, 1.Dezember 1994

Entwicklung und Herstellung von mikrooptischen Komponenten und Systemen mit Hilfe der LIGA-Technik. (1994)

Göttert, J.

Vortr.: Institut für Mikromechanik, Mainz, 9.Dezember 1994

Bestückung einer Endoskopspitze mit mikrotechnischen Komponenten sowie Entwicklung und Herstellung eines mikrooptischen Abbildungssystems. (1994)

Guber, A., Göttert, J., Fischer, M.

1.Statusseminar des BMFT-Verbundprojektes Mikrosystemtechnik zum Einsatz in der minimal-invasiven neurochirurgischen Operationstechnik, Karlsruhe, 30.November 1994

Entwicklung und Herstellung mikrooptischer Komponenten. (1994)

Göttert, J., Fischer, M.

1.Statusseminar des BMFT-Verbundprojektes Mikrosystemtechnik zum Einsatz in der minimal-invasiven neurochirurgischen Operationstechnik, Karlsruhe, 30.November 1994