Fabricacion de peliculas delgadas de VO2 por sputtering RF (2005)
Córdoba, M.F., Coy, H., Quinayas, C., Coronel, J.W., Gross, K., Lopera, W., ...
Utilizando un sistema de pulverización RF (Magnetrón Sputtering ) a 13.56 MHz en una atmósfera de argón puro a presiones de 9 x 10-3 mbar hemos depositado ¿in situ¿ películas delgadas de VO2...
Fabricacion de peliculas delgadas de VO2 por sputtering RF (2005)
Córdoba, María F., Coy, H., Quinayas, C., Coronel, J.W., Gross, K., Lopera, W., ...
Utilizando un sistema de pulverización RF (Magnetrón Sputtering ) a 13.56 MHz en una atmósfera de argón puro a presiones de 9 x 10-3 mbar hemos depositado ¿in situ¿ películas delgadas de VO2...