Encapsulated micromachined resonant force sensor /--Martin Haueis. (2001)
Haueis, Martin., Verein Deutscher Ingenieure.
Thesis--ETH Zurich, [2001].
Encapsulated micromachined resonant force sensor [microform] / (2000)
Thesis (doctoral)--Swiss Federal Institute of Technology Zurich, 2000.
Encapsulated micromachined resonant force sensor / (2000)
Im Buchh.: Düsseldorf : VDI-Verlag.