Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen (2008)
Using optical microscopy in combination with very low angle illumination, a rapid method to determine contamination of surfaces was developed. Among the advantages, as compared with existing methods...
Neue Aufgaben für die Reinigung: Sauberkeitstechnik im Wandel (2008)
Gerade weil sich manche Verschmutzungsquellen nur sehr schwer beherrschen lassen und eine Fertigung von Automobilkomponenten immer mit einer Partikelerzeugung einhergeht, besteht in Zukunft vermehrt...
Verfahren und Werkzeug zur Reinigung von Kavitaeten (2007)
WO 2007012364 A1 UPAB: 20070219 NOVELTY - The cleaning process is for cavities in a part (1). it involves introducing a supercritical carbon dioxide into the cavity to clean it. When the cavity has...
CO2-Reinigungslanze mit Schwenkduese (2007)
DE 102006016314 B3 UPAB: 20071026 NOVELTY - The jet spray tool for the production of a jet of carbon dioxide snow for dry cleaning of tube cavity, comprises a shaft (11), carbon dioxide jet nozzle...
Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen (2006)
Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erfordern die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden...
Sensorsystem für Reinigungsbäder: Überwachung des Partikelgehalts (2006)
Mit langwierigen Analysen von Badproben im Labor ist kein Aufbau von effektiven Regelkreisen in Reinigungsanlagen möglich. Ein neues System zur Überwachung des Partikelgehalts in Reinigungs- und...
Saubere Bauteiloberflächen sind für viele Fertigungsprozesse eine Voraussetzung zur Herstellung qualitativ hochwertiger Produkte. Durch aktuelle und akute Problemstellungen in der...
Direct evaluation of the particulate cleanliness of surface (2005)
Clean components guarantee the quality of high-value products. Particulate contaminants have a negative impact on the functionality of technical systems. They increase the production costs due to...
Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen (2005)
Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erfordern die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden...
Online-Qualitätsüberwachung mit Streiflicht (2005)
Mit Hilfe der Streiflichttechnik können partikuläre Verunreinigungen auf Bauteilen erfasst und bewertet werden. Diese Online-Qualitätsüberwachung direkt am Produkt ermöglicht eine automatische...
Khanna, P.K., Ahmad, S., Grimme, R.
This paper presents the efforts made to study the process of comminution to previous Weiss domain polarization and phase transition in piezoceramics together with the versatility of...
Grimme, R., Ernst, C., Vohrer, U., Leupolt, B.
Flecken - Restschmutz - Kontaminationen - Partikel - Ölfilme - Fingerabdrücke... Wer kennt sie nicht, die sichtbaren und unsichtbaren Störenfriede, die nicht nur die optische Anmutung eines...
Lokale Reinigung von Funktionsflächen: Verfahren, Möglichkeiten und Grenzen (2005)
Grimme, R., Hauptmann, J., Krieg, M.C.
Eine Aufgabe der Reinigungstechnik in der Fertigung ist das Vorbehandeln von Funktionsflächen für weitere Prozessschritte wie zum Beispiel dem Fügen. Da an dieser Stelle der Fertigungskette nur...
Khanna, P.K., Hornbostel, B., Grimme, R., Schäfer, W., Dorner, J.
A novel method to fabricate pressure sensors using low-temperature-cofired ceramics (LTCC) and polyvinylidene fluoride (PVDF) piezoelectric polymer is presented. The basic structure consists...
Process for quantitative and qualitative on-line differentiation of biotic and abiotic particles in a gaseous medium is claimed. The number and size of particles is determined in a first measuring...
Kontaminationen in hybriden Mikrosystemen lassen sich nur zu einem gewissen Teil durch präventive Maßnahmen, z. B. der Reinraumtechnik, in den Griff bekommen. Zunehmend werden Methoden zur lokalen...
Abschied von Traditionen. Strahlverfahren zur Feinreinigung in der Mikrotechnik (2002)
Am Fraunhofer IPA werden Verfahren zur lokalen Reinigung mikrotechnischer Funktionselemente entwickelt. Neben der Laserreinigung wurde eine leistungsfähige Methode zur Reinigung mit CO2-Schnee...
Vorrichtung und Verfahren zur Ueberpruefung einer Oberflaeche eines Gegenstands (2002)
The appliance (1) has a light source (2,3) projecting a light beam (5,6) on to the surface (8) of the object and a light sensor (4) to detect light scattered from foreign bodies (impurities) on the...
Vorrichtung und Verfahren zur Ueberpruefung einer Oberflaeche einer optischen Komponente (2002)
Stock, A., Grimme, R., Dettmann, H.
The appliance has a number of light sources (8,9) generating a light beam directed on to the surface of the optical component (2). A light sensor (6) monitors the light beam reflected from the...
Magazin fuer die Fixierung von Kleinteilen (2002)
Grimme, R., Schlenker, D., Stock, A., Schaefer, W., Kaemper, K.P., Berg, U., ...
The accommodations (3) hold releasable fixing components (4) each of which is provided with fixture devices for the small part. The accommodations are openings, in which the fixing components are...
Handhabungselement fuer Kleinteile und Verfahren zur Herstellung (2001)
Grimme, R., Rochowicz, M., Schlenker, D., Stock, A.
DE 19953322 A UPAB: 20010719 NOVELTY - A micro lens (1) is inserted on a support layer (3) in a handling device. A positioning layer (2) applies an exact position in a layer surface. An opening in...
Verfahren und Vorrichtung zur Detektion biotischer Kontaminationen auf Oberflaechen (2001)
Schuele, A., Grimme, R., Huen, J., Abt, C., Gueth, A.
DE 19906047 A UPAB: 20001102 NOVELTY - A method for the detection of biotic contamination on surfaces, is new. The surface (1) is irradiated with light (5) with a small wavelength in, or below the...
Absaugvorrichtung und -verfahren zur Lasermaterialbearbeitung und Laserreinigung (2001)
Grimme, R., Lawrenz, W., Willmann, J., Schwaab, G.
NOVELTY - Delivery openings (9) of the gas delivery unit for washing the plasma cloud (15) due to the laser beam are directed onto the region (14) of the laser spot. Suction with the suction unit (1)...
Überwachung der Oberflächenreinheit von Bauteilen und Einrichtungen im reinen Umfeld (2000)
Die Reinraumtechnik ist aus der Fertigung innovativer Produkte in vielen Branchen wie der Halbleiterindustrie, der Optoelektronik, der Mikrotechnik, der Pharmazie und der Luft- und Raumfahrttechnik...
Präzisionsreinigung von Mikrostrukturen mittels UV-Laser (2000)
Rochowicz, M., Grimme, R., Schäfer, W.
Neben den bekannten Anwendungen der Lasertechnik zur Materialbearbeitung, zur Datenübertragung und in der Messtechnik bietet sich der Laser auch als Werkzeug für die Reinigung an. Für kleinste und...
Partikel werden sichtbar: Kleine Kontaminationen vor der Beschichtung erkennen (2000)
Kleine Partikel auf der Oberfläche, die vor einer Beschichtung nicht erkannt werden, können große Qualitätsprobleme erzeugen. Eine optische Erfassung der Schmutzteilchen scheiterte bisher am...
Schwaab, G., Grimme, R., Lawrenz, W.
DE 19819054 A UPAB: 20000112 NOVELTY - The object is finely positioned. Localized, part hardening takes place between component and fastening surface. DETAILED DESCRIPTION - The object, e.g., a ball...
Schüle, A., Kölblin, R., Grimme, R., Trick, I.
In den Produktionsbetrieben verschiedener Branchen sind sofortige Aussagen über die mikrobielle Belastung der Luft erforderlich um Produkte, Mitarbeiter oder die Umgebung vor mikrobiellen...
Oberflächen-Partikelmeßtechnik (1999)
Equipment and media providing approved already is of high importance for "Clean Production". Existing testing methods for particular cleanliness of technical surfaces are indirect measuring methods...
Kennzeichnung und Identifikation von Mikrosystemen (1999)
Matuscheck, P., Stock, A., Grimme, R., Schünemann, M., Schäfer, W.
Die Identifikation von Komponenten, Bauteilen und Systemen gewinnt in der Mikroproduktion / Mikrosystemtechnik unter dem Aspekt der (teil-)automatisierten Fertigung immer mehr an Bedeutung. Gründe...
Automatisierte Montage und Justage von Mikrokomponenten (1999)
Schünemann, M., Grimme, R., Schlenker, D., Stock, A., Schäfer, W., ...
Hybrid aufgebaute Mikrosysteme und Mikrokomponenten haben das Potential, die Entwicklung innovativer und intelligenter Produkte in unterschiedlichsten Branchen zu ermöglichen und zu unterstützen....
Produktionskonzepte für die Mikrotechnik (1998)
Westkämper, E., Schünemann, M., Schlenker, D., Bauer, G., Grimme, R., Schäfer, W.
Die Überführung von mikrosystemtechnischen Prototypen in industriell gefertigte und am Markt erfolgreiche Produkte stellt heute noch oftmals ein Problem dar. Insbesondere Mikrokomponenten in...
A Micro-fab for the Micro-assembly of Optical Lenses (1998)
Schäfer, W., Grimme, R., Schlenker, D., Stock, A., Schünemann, M.
This article describes integrating the micro-assembly of small lens systems into an automated micro-fab. The micro-fab consists of a cleaning and inspection cluster, an assembly and hardening...
A Micro-fab for the Micro-assembly of Optical Lenses (1998)
Schäfer, W., Grimme, R., Schlenker, D., Stock, A., Schünemann, M.
This article describes integrating the micro-assembly of small lens systems into an automated micro-fab. The micro-fab consists of a cleaning and inspection cluster, an assembly and hardening...
Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components (1998)
Schwaab, G., Grimme, R., Rockowicz, M., Schäfer, W.
The requirements for cleaning technology, e.g. local restrictability, ecological benefit and cleaning of even sub-µm particles, are risen up enormously in the last few years at the production of...
Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components (1998)
Schwaab, G., Grimme, R., Schäfer, W.
The requirements for cleaning technology, e.g. local restrictability, ecological benefit and cleaning of even sub-µm particles, are risen up enormously in the last few years at the production of...
Kölblin, R., Trick, I., Grimme, R.
In der Hygieneproduktion stellt die partikuläre Kontamination der Umgebungsluft ein besonderes Problem für das Produkt, das Produktionspersonal oder den Endverbraucher dar. Die Überwachung der...
Detection of Biological Contamination (1998)
Grimme, R., Kölblin, R., Schüle, A., Trick, I.
In various branches of technology or production contamination leads to loss of functionality of the produced items (i.e. chips) and so to loss of productivity and in the end to loss of money. The...
Modular magazine for the suitable handling of microparts in industry (1997)
Grimme, R., Schmutz, W., Schlenker, D., Schünemann, M., Stock, A., Schäfer, W.
Microassembly and microadjustment techniques are key technologies in the industrial production of hybrid microelectromechanical systems. One focal point in current microproduction research and...
Schünemann, M., Grimme, R., Kaufmann, T.S., Schwaab, G., Bader, U., Schäfer, W., ...
During the past few years, remarkable afforts have been made for the ralization of microscale sensors, actuators and microelectromechanical systems. Due to advances in solid state and micromachining...
Industrialisierung der Fertigungstechnik für Mikrosysteme (1997)
Westkämper, E., Schünemann, M., Schlenker, D., Grimme, R., Schäfer, W.
Wesentliche Hemmnisse bei der Überführung von mikrosystemtechnischen Prototypen in industriell gefertigte und am Markt erfolgreiche Produkte bestehen in der Nichtverfügbarkeit von...
Automatisierte Montage und Justage von Mikrokomponenten (1997)
Schünemann, M., Grimme, R., Schlenker, D., Stock, A., Schmutz, W.
Hybrid aufgebaute Mikrosysteme und Mikrokomponenten besitzen das Potential, die Entwicklung von innovativen und intelligenten Produkten in unterschiedlichsten Branchen zu ermöglichen und zu...
Eine vielseitige Spray-Spin-Anlage (1996)
Geräteangebot: Ergebnis für Mikrosystemhersteller unbefriedigend. Es müssen neue Ansätze verfolgt und realisiert werden. Es ist technisch und organisatorisch möglich, die neue Kombination von...
A Versatile Spray-Spin-Tool for Wet Chemistry Processes in a Microfabrication Line (1996)
A set of different processes using wet chemistry are necessary for a microfabrication line. Cleaning, coating, developing, etching, coating removal, lift-off. In semiconductor fabrication lines these...
Sensors/Actuators of the functional ceramics based on Sol-Gel technique for microsystems (1996)
Grimme, R., Otschik, P., Gesemann, H.J.
This paper reports on the application of ceramic materials on silicon by using the Sol-Gel technique to the fabrication of sensors and actuators in a microsystem (MicroFab concept). The technology...
Sensoren, Aktoren auf der Basis eines Sol- Gel - Moduls (1996)
Otschik, P., Kluge, A., Grimme, R., Schönecker, A., Schumacher, A., Gesemann, H.J.
Sol-Fertigung nur inhouse, Entwicklung in Instituten. Erhöhung der Schichtdicke je Beschichtungszyklus. Prozeßvereinfachung durch photosensitive Sole, Auswahl der für das Belichten erforderlichen...
Reinigung von Mikrosystemen und Mikrokomponenten (1996)
Grimme, R., Schwaab, G., Schäfer, W.
Die industrielle Produktion von hybriden Kleinst- und Mikrosystemen stellt neue Anforderungen an die Reinigungstechnik. Die Einzelkomponenten hybrider Mikrosysteme, selbst komplexe multifunktionale...
Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen (1996)
Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erfordern die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden...
New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production (1996)
Dorner, J., Grimme, R., Schünemann, M., Schließer, J., Kaufmann, T.S., Schäfer, W.
The cleanroom production technology offers different ways from Ballroom concept to minienvironment and clean machines. There is an increasing trend to regard this technology from the point of the...
Modulares Gerätekonzept zur Mikrolinsenmontage (1996)
Grimme, R., Schlenker, D., Stock, A., Schäfer, W.
Die Fertigung endoskopischer Linsensysteme basiert derzeit im wesentlichen auf manuellen Fertigungsschritten. Hierdurch wird die erreichbare Qualität und die mögliche Produktivität in Grenzen...
Modular System for Laser Microfabrication (1996)
Grimme, R., Hillmann, V., Jürss, M., Otschik, P., Poßner, T.
A modular concept for laser microfabrication of microsystems is presented. Depending on the selected components, laser-induced processes with different applications can be accomplished with a single...
Inspektionsmodul zur Prüfung optischer Bauteile (1996)
Stock, A., Grimme, R., Schlenker, D., Dettmann, H., Schäfer, W.
Das vorgestellte Inspektionsmodul ist in der Lage, eine automatische Fehlererkennung und Fehlerklassifizierung durchzuführen. Dadurch ist eine Qualitätssicherung der Produkte und eine ständige...
Halbautomat zur Montage von miniaturisierten optischen Systemen (1996)
Schlenker, D., Grimme, R., Stock, A., Schäfer, W.
Durch die Entwicklung und Realisierung der beschriebenen Montageanlage wird es möglich, die derzeit manuell gefertigten optischen Übertragungselemente reproduzierbar herzustellen und somit eine...
Grundlagen zur Justage von Einzellinsen (1996)
Schäfer, W., Schlenker, D., Grimme, R., Stock, A., Rochowitz, M.
Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB) (1996)
Grimme, R., Schünemann, M., Schwaab, G., Kaufmann, T.S., Bader, U., Schlenker, D., ...
Entwicklungstrends in der industriellen Produktion von Mikrosystemen (1996)
Grimme, R., Schünemann, M., Großer, V., Reichl, H., Schäfer, W., Schwaab, G.
Ein wesentliches Hemmnis in der Überführung von mikrosystemtechnischen Prototypen in industriell gefertigte und am Markt erfolgreiche Produkte besteht in der Nichtverfügbarkeit von...
Grimme, R., Schünemann, M., Schließer, J., Kaufmann, T.S., Schäfer, W.
During the past few years, remarkable efforts have been made in the field of microscale sensors, actuators, and microelectromechanical systems. Due to advance in solid state and micromachining...
Grimme, R., Schünemann, M., Schließer, J., Kaufmann, T.S., Schäfer, W.
During the past few years, remarkable efforts have been made in the field of microscale sensors, actuators, and microelectromechanical systems. Due to advance in solid state and micromachining...
Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen (1995)
Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erforden die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden...
Development Trends in the Industrial Production of Microsystems (1995)
Schäfer, W., Schuenemann, M., Grimme, R., Grosser, V.
During the past few yers, remarkable affords have been made for the realization of microscale systems and devices. Whereas, due to advances in solid state and microsystem technologies, significant...
Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen (1994)
Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erforden die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden...
Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen (1993)
Cleanromms are used in a wide range of applications. Areas of cleanrooms are from LF-boxes up to a few thousands of qm. All the cleanrooms have to be certified after construction and during their...
Ernst, C., Grimme, R., Kahlden, T. Von, Müller, B.
Aus einem bereits 1991 geschlossenen Verbundprojekt mit 35 Firmen aus dem Bereich der Zulieferer und Hersteller von Halbleitern entstanden Fortführungsprojekte mit verschiedenen Themenschwerpunkten....